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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
INFICON Transpector? 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標(biāo)高壓過程提供zui佳半導(dǎo)體晶圓和顯示屏面板保護(hù)。憑借適合單壓應(yīng)用的zui敏感空氣泄漏和過程污染檢測，Transpector SPS 可zui大程度減少晶圓和面板報廢。它具有業(yè)內(nèi)率先的檢測限值和測量速度，確保晶圓和面板產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量。
詳情介紹：
TRANSPECTOR® SPS 殘余氣體分析儀
INFICON Transpector® 單壓取樣 (SPS) 殘余氣體分析儀為目標(biāo)高壓過程提供zui佳半導(dǎo)體晶圓和顯示屏面板保護(hù)。憑借適合單壓應(yīng)用的zui敏感空氣泄漏和過程污染檢測，Transpector SPS 可zui大程度減少晶圓和面板報廢。它具有業(yè)內(nèi)率先的檢測限值和測量速度，確保晶圓和面板產(chǎn)品的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS 提供zui可靠的過程監(jiān)控，確保實現(xiàn)穩(wěn)定的高壓過程，進(jìn)而zui大程度提高過程能力和產(chǎn)量。該儀器融合了簡單且高成本效益的入口系統(tǒng)與經(jīng)實踐驗證的離子源和泵組，以提供低風(fēng)險、高回報的氣體分析解決方案。Transpector SPS 是一種經(jīng)過驗證的解決方案，適用于真空電弧重熔 (VAR) 等冶金和熱處理應(yīng)用，且是一般真空和工業(yè)應(yīng)用的理想之選。Transpector SPS 可根據(jù)具體應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行配置和定制。 針對從 1E-4 Torr 到大氣的取樣過程壓強(qiáng)，均可選用標(biāo)準(zhǔn)孔板、劈刀和旁路線組合。耐腐蝕入口、離子源和泵組的設(shè)計可確保在蝕刻、CVD、ALD 和其他腐蝕性氣體過程中的耐受性。
好處
- 得益于單壓取樣入口，zui大程度降低晶圓和面板保護(hù)的總擁有成本；是擴(kuò)散、外延和 RTP 等高壓 過程的理想之選
- 提供zui低漏氣量和污染監(jiān)測，確保恒定高壓過程
- 通過 強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷
- 通過定制 配方優(yōu)化增強(qiáng)獨特生產(chǎn)能力
- 通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求
典型應(yīng)用
- PVD 過程
- 擴(kuò)散和外延過程
- 蝕刻過程包括：金屬、電介質(zhì)、硅刻蝕, HDP-etch
- CVD 過程包括：高 k 電介質(zhì)、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD
